化學蝕刻中常見的問題有：
1、 邊緣輪廓線不清楚，這種情況是因為零件表面沾污，如手印、化學污染、氧化膜、防蝕層邊緣不清晰等，還有就是蝕刻液濃度不在工藝規定范圍內，這種情況下首先需要加強各工序管理，防止二次污染，在蝕刻之前對防蝕層檢查要嚴格，其次分析調整蝕刻液各成分至工藝規定范圍。
2、 粗糙的蝕刻表面，被蝕刻表面有溝槽、留痕及點蝕，其主要原因是蝕刻液中AI3+濃度太高，NaOH濃度太高或太低，蝕刻后酸洗后，漂洗不凈，糾正的方法就是分析調整蝕刻液各成份濃度到工藝規定范圍，加強酸洗后的水洗質量。
3、 形成凹坑主要是因為蝕刻液中AI3+濃度及NaOH濃度太高，處理的方法就是稀釋蝕刻液，降低濃度。
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